苏州友言机电工程有限公司

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    泉州药厂净化工程施工

    author:苏州友言机电工程有限公司

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    time:2019-10-16 11:07:24

    八、室内噪声的检测1测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值,必要时测倍频程声压级。2测点位置:宜按附图61的5点设置,面积在15m2以下者,可用室中心1点;测点高度距地面1.lm九、照度的检测室内照度可用便携式照度计测定2室内照度必须在室温已趋稳定、光源光输岀趋于稳定(新安的日光灯必须已有100h、白炽灯已有l劬的使用期;旧日光灯必须已点燃15min,旧白炽灯已点燃5min)后进行。3洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。4测点平面离地面0.8m,按1~2m间距布置,测点距离墙面lm(小面积房间为0.5m十、室内微振的检测1用能满足检测精度要求的振动分析计测定。2测点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上,以及各壁板(装配式洁净室则为每独立壁板)表面的中心处。

    3应分别测岀室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值,特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。十一、表面导静电性能的检测地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。2在表面上选定的代表区域的两点间检测,可选用附图62的测试装置。4:1附图62表而导静电性能测试装置D表面电阻2)港谲电阻1高阻计;2试件;3辋圆枉形电极,m;4湿渍纸[=900mm: #=60mm: R=2kg十二、室内气流流型的检测1测点布置:垂直单向流(层流)洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;水平单向流(层流)洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面05m和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为02~1m。

    乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个,剖面上测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5~1ma两个风囗之间的中线上应有测2测定方法∶用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并在有测点布置的剖面图上标出流向。十三、流线平行性的检测1用单丝线观察送风平面的气流流向,一般每台过滤器对应一个观察点。2用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度,注意避免人的干扰。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
    无尘室洁净室 (3).jpg

    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

     

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

     

    如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

    无尘室洁净室 (1).png


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