苏州友言机电工程有限公司

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    泉州洁净室车间厂房

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    time:2019-10-13 13:39:14

    七、接地装置的接地线路电阻试验,应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过规定值。第四章水、气、电系统第一节一般规定第41.1条洁净室内的给水排水、消防设施、气体动力、电气照明等施工,除应符合本规范外,尚应符合现行国家标准《采暖与卫生工程施工及验收规范》GB242、《工业管道工程施工及验收规范》GBJ235、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236、《电气装置安装工程施工及验收规范》GBJ32和《工业自动化仪表工程施工及验收规范》GRJ93的有关规定。第4.1,2条给水排水管道和气体动力管道穿过洁浄室的墙壁和楼板应设套管,套管內的管段不得有接头,管子与套管之间必须用不燃和不产尘的密封材料封闭。

    第4.1.3条明裝或暗裝的电气线管,其管材应采用不燃材料,洁净室内线管的管囗应用不产尘的密封材料封闭。第414条洁浄室內的管道外表面的保温层,应采用不产尘的不燃或难燃的保温材料,保护层应采用金属保护壳。对于生物洁净室,管道保护壳缝隙应作防水密封处理,保护壳材质应能抗消毒剂的浸蚀。第4.1.5条给水排水管道和气体动力管道的强度试验、气密性试验、真空度试验和泄漏量试验,当设计无要求时,应按有关规范执行第41.6条水、气、电系统安裝应与其他工程密切配合,严格按程序施工,并符合附录二的要求。第二节给水排水第42.1条洁净室内的给水管道的材质必须符合设计要求。设计无要求时,各类给水管道的材质宜符下列规定、给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管二、纯水、高纯水管道为不锈钢(SU⑧)管、硬聚氡乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管等、管道的配件应采用与管道相应的材质第422条纯水和高纯水采用不锈钢(SS)管、硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管,其化学成分及物理性能应符合设计要求。

    第423条纯水和高纯水管道、管件、阀门安裝前必须清除油污和进行脱脂处理。第424条纯水、高纯水采用硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(P)管和工程塑料(ABS)管时,其管道安装应符合下列要求、管道安装必须在环境清洁,室温在5以上,相对湿度在85%以下的条件下进行;二、管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接;三、管道或管件的承口不得歪斜和厚度不匀。管端不得有裂缝。管道的承插间隙不得大于0.15~0.3n四、管道在粘接前,应对表面进行砂磨处理和清洁处理,不得沾污,粘接时必须保证插入承口的深度五、法兰面应平整光滑,密封面应与管道中心线垂直;六、活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
    无尘室洁净室 (3).jpg

    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


    无尘室洁净室 (1).png

    每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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